슬롯사이트 꽁머니은 조명의 원천으로 빛이 아닌 가속화된 전자를 이용하는 현미경이다. 해상력은 광학현미경의 10만 배에 달하여 훨씬 더 작은 물체를 볼 수 있다. 1939년에 지멘스(Simens) 사는 최초의 상업용 투과슬롯사이트 꽁머니(TEM)을 내놓았다. 이를 보완한 주사슬롯사이트 꽁머니(SEM)은 1965년 최초로 상업화가 되었다. 슬롯사이트 꽁머니은 국가유산 보존사업에서 중요한 기능을 담당하고 있다. 우리나라 문화유산보존과학센터터에는 주사슬롯사이트 꽁머니이 설치되어 있어 안료, 유리, 토기의 성분 확인 및 조직 관찰, 정성 분석 등에 활용되고 있다.
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투과슬롯사이트 꽁머니주5은 X-선 촬영과 비슷한 원리로 작동한다. 가속화된 슬롯사이트 꽁머니는 시료를 통과하면서 원자핵과 같이 단단한 부분에서는 튕겨져 나오거나 굴절하는 반면, 그렇지 않은 곳은 그대로 통과한다. 통과한 슬롯사이트 꽁머니와 굴절된 슬롯사이트 꽁머니를 슬롯사이트 꽁머니기 렌즈를 통해 모으면 시료의 격자구조를 나타내는 영상을 얻을 수 있다.주6은 가속화된 슬롯사이트 꽁머니가 시료에 충돌할 때 발생하는 여러 광선들 중 2차 슬롯사이트 꽁머니를 탐지하는 방법을 쓴다. 가속화된 슬롯사이트 꽁머니가 시료의 원자에 있는 슬롯사이트 꽁머니와 충돌하면 2차 슬롯사이트 꽁머니가 발생하는데, 이 때 2차 슬롯사이트 꽁머니는 시료의 표면에 대한 정보가 담겨 있다. 또한, 2차 슬롯사이트 꽁머니는 속도가 느리기 때문에 탐지가 더 쉽다.
슬롯사이트 꽁머니에 대한 아이디어를 제출하여 특허를 받았던 사람은 헝가리 물리학자 스질라드(Leó Szilárd)였다. 1931년에 독일의 물리학자 러스카(Ernst Ruska)와 전기공학자 크놀(Max Knoll)이 시범용 슬롯사이트 꽁머니을 개발했다. 1933년에 러스카는 광학현미경의 해상력을 뛰어넘는 슬롯사이트 꽁머니을 개발함으로써 새로운 가능성을 열었다. 1938년에 토론토 대학교 팀에 의해 최초의 실용적 슬롯사이트 꽁머니이 개발되었고, 1939년에 지멘스(Simens) 사는 최초의 상업용 투과슬롯사이트 꽁머니(TEM)을 내놓았다.
그러나 투과슬롯사이트 꽁머니은 시료를 통과하고, 굴절되는 전자를 탐지하여 영상을 얻는 관계로 시료의 격자구조와 방향성은 알 수 있지만 표면구조를 직접 관찰할 수는 없었다. 이런 점을 보완하고자 주사슬롯사이트 꽁머니(SEM)이 개발되었는데, 최초로 상업화가 된 것은 1965년이었다.
우리나라에 슬롯사이트 꽁머니이 처음 도입된 것은 1958년으로, 일본에서 연구를 마치고경북대학교에 부임한 안영필 교수가 일본으로부터 기증을 받은 2단 렌스계 소형 슬롯사이트 꽁머니(HitachiHM-3)이었다. 같은 해에 육군기술연구소도 2단 렌스계 소형 슬롯사이트 꽁머니(Schimazu SM-C2)을 기증 받았으나, 같은 기종의 사용자가 없었던 까닭에 활용이 부진했다. 1961년에는성균관대학교부설 원자과학연구소에서 3단 렌스계 중형 슬롯사이트 꽁머니(HitachiHS-6)을 구입슬롯사이트 꽁머니 가동함으로써 생물학과 의학 분야의 연구가 활성화되는 계기로 작용했다.
슬롯사이트 꽁머니은 국가유산 보존사업에서 중요한 기능을 담당하고 있다. 이런 까닭에 문화유산 보존처리를 전담하는 국가기관인 문화유산보존과학센터에는 주사슬롯사이트 꽁머니(JSM-5910LV)이 설치되어 있고 안료, 유리, 토기의 성분 확인 및 조직 관찰, 정성분석 등에 활용되고 있다.
주사슬롯사이트 꽁머니(SEM)은 전자총, 자기렌즈, 진공관, 시료대, 검출기 등으로 이루어져 있다. 전자총은 전자를 생성하고 가속화시키는 장치이다. 2차 전자를 발생하기에 충분한 1차 전자를 안정적으로 생성해주는 텅스텐 필라멘트를 주로 이용한다. 자기렌즈는 원통형으로 감겨진 코일로 만들어진 전자석으로 음전하를 띤 전자를 유도하는 성질을 통해 전자를 한 곳으로 모으는 기능을 한다.
자기렌즈는 시료를 비추는 슬롯사이트 꽁머니의 크기를 결정하는 대물렌즈와 슬롯사이트 꽁머니총을 빠져나온 슬롯사이트 꽁머니를 모아주는 역할을 하는 집광렌즈로 나뉜다. 슬롯사이트 꽁머니의 진행 통로에 공기가 있다면 진행을 방해하기 때문에 슬롯사이트 꽁머니총에서 검출기까지 진공상태를 유지해야만 한다. 시료대는 시료를 놓아두는 곳으로 슬롯사이트 꽁머니에 대한 간섭을 최소한도로 유지하도록 설계되어야 한다. 검출기는 2차 슬롯사이트 꽁머니를 탐지하여 전기 신호로 바꿔줌으로써 최종적인 영상을 형성할 수 있도록 해준다.